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摘要：近年來，隨著科學技術水平的不斷發展，航天航空工業、微機械工業、生物工程等都有了很大的發展，這些行業的發展離不開精密微小零件的發展。目前，精密微小零件的發展方向愈加多元化，結構特征也愈加復雜。相關行業對精密微小零件的各種功能和使用穩定性的要求也越來越高。在這種環境背景下，進行有關超精密微小零件的研究十分必要。本文將結合目前超精密微小零件發展的現狀，開展有關超精密微機械制造技術的研究，希望能對我國未來超精密微機械制造技術的發展有所幫助。

關鍵詞：超精密加工；微機械；機械制造

隨著相關專業領域的發展，對超精密/精密微小零件的要求越來越高，需求量也不斷增加。超精密微機械制造技術是新興的一種科學技術，是在20世紀80年代末才出現的，在21紀獲得了較大的發展，并被廣泛地應用于各個領域，如國防領域、電子領域、醫療領域等。為了滿足對精密微小零件的使用要求，微機械被應用于精密微小零件加工中，從而也改變了現代裝備加工發展的方向。本文將從超精密微機械制造技術的內涵入手，介紹超精密加工的特點，并對超精密微機械制造技術展開分析和研究。

1超精密微機械制造技術的內涵

微制造系統的主要加工對象是微小機械零件，在加工的過程中主要依靠系統化和集成化的理論，通過觀察加工工件的結構和相關的要求進行加工、檢測、搬運等工序，與一般的零件加工相比，微小零件是要在比較狹小的空間完成上述工序。在進行微制造的過程中要堅持一個理念，就是小機床小零件理念，這種理念也是微制造技術和其它制造技術之間的區別。微制造系統的存在可以解決微小零件加工過程中遇到的問題，是進行微小零件加工一種有效的方法。超精密微機械制造技術加工的對象是微小零件，在加工的過程中對微小零件的尺寸有一個控制范圍，一般來說微小零件的尺寸要在10μm～10mm之間，且要具有復雜的幾何形狀。對于符合這兩種要求的微小零件進行加工和檢查才是屬于超精密微機械制造技術的應用范圍。這種制造技術相比于其他技術而言具有操作方便、工作效率高、能耗低的優勢。將超精密微機械制造技術應用于零件加工中不僅能有效減少制造過程中的能源消耗，同時也可以最大限度的節約制造空間，這是符合現代綠色環保生產理念的，也是未來制造系統發展的主要方向之一。

2超精密加工的特點

超精密加工技術起源于20世紀，這種具有較高科技含量的加工技術隨著現代科技的發展業越來越完善，能加工的微小零件尺寸已經發展到納米級別。隨著超精密加工技術的不斷發展和進步，這種加工技術具備的特點越來越多。超精密加工的特點主要包括以下幾個方面。第一，就是“進化”加工原則。“進化”加工包括直接和間接兩種加工方式。使用直接加工方式，使用的加工設備精度要比工件精度低，需要通過特殊加工工藝的處理才能滿足相應的精度要求。這種加工方式適用于單件、小批量的生產過程。間接加工需要以直接加工方式為基礎，利用母機完成加工任務，這種加工方式適合于批量生產；第二，就是微量切削機理。這和一般的切削機理不同，是在晶體內完成的切削工作；第三，使用了大量的新方法。這主要與工件加工技術的發展有關，傳統的切削和磨削方法已經不能滿足現代加工工藝的要求，特種加工、復合加工等新方法應運而生，不斷提高加工的精度；第四，和高新技術產品的關系更加緊密。通過和高新技術產品的結合，可以大大提高加工的科學性和合理性，從而確保加工的質量和精準度。

3超精密微機械制造技術

超精密微機械制造技術是一種比較重要的技術，國內外都對這種技術比較重視，同時也取得了很大的成果。但在微機械加工設備技術的研究方面，日本還是要遙遙領先于世界各國。日本研發的超精密微機械加工機床成功地解決了微機械切削加工中面臨的難題，能對復雜自由曲面進行加工。除了日本，德國在微機械加工設備技術方面的研究也比較領先，德國研究出的微切銑削技術可以對淬火鋼和硬鋁材料的微小零件進行切削加工。此外，德國還研究出專用于微小零件加工的系統，解決了大型機械無法進行微小零件加工的難題。相比于國外，國內的研究還是比較緩慢的，但也取得了一定的成果。我國在微機械加工設備技術方面的研究主要集中于微小制造系統和微小切削技術兩個方面。哈工大研究出的微小型車銑加工系統已經能達到國際水平。同時，我國還研發出來微摩擦磨損測試儀。這些研究成果為我國超精密微機械制造技術發展奠定了良好的基礎。微切削加工技術的研究重點不僅包括如何使加工的零件微小化，同時還包括要將微切削加工過程微小化。因此，在微切削加工技術方面的研究要關注加工的全過程，要全面掌握微切削的機理和相關參數信息。

4總結

總之，超精密微機械制造技術對于現代工業的發展具有重要作用，國內外對此都給予了高度的重視。現階段，我國在超精密微機械制造技術方面的研究還要落后于國際先進水平。因此，應加大在相關方向研究的力度，促使該項技術向更加科學系統化的方向發展。

參考文獻：

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[2]宋濤.超精密微機械制造技術研究進展[J].中國機械，2014，(9)：128~128.

[3]鄭穎.超精密微機械制造技術研究進展[J].科技風，2014，(13)：241~241.

作者：賈美洋 劉宏 單位：邵陽學院魏源國際學院